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【四轴精密线轨运动台】RBXG四轴精密线轨运动台
产品特点
背景先容
定制设计
规格指标
型号 |
RBXG–400–400–50-50 |
RBXG–500–500–100-100 |
RBXG–600–600–150-150 |
||||||
轴号 |
X |
Y(底) |
Z1Z2 |
X |
Y(底) |
Z1Z2 |
X |
Y(底) |
Z1Z2 |
行程 |
400 mm |
400 mm |
50 mm |
500 mm |
500 mm |
100 mm |
600 mm |
600 mm |
150 mm |
定位精度 |
±1.5μm |
±1μm |
±1.5μm |
±1μm |
±1.5μm |
±1μm |
|||
双向重复定位精度 |
±0.5μm |
±0.35μm |
±0.5μm |
±0.35μm |
±0.5μm |
±0.35μm |
|||
电子分辨率 |
0.3nm 或 5nm (选配) |
||||||||
最大速度 |
1 m/s |
0.2 m/s |
1 m/s |
0.2 m/s |
1 m/s |
0.2 m/s |
|||
加速度 |
0.5g |
0.1g |
0.5g |
0.1g |
0.5g |
0.1g |
|||
直线度 |
±3μm |
±2μm |
±3μm |
±2μm |
±4μm |
±2μm |
|||
速度稳定性 |
0.1% @v=200mm/s |
||||||||
负载 |
20 Kg |
型号 |
A |
B |
C |
RBXG-400-400-50-50 |
1250mm |
1010mm |
1530mm |
RBXG-500-500-100-100 |
1350mm |
1110mm |
1580mm |
RBXG-600-600-150-150 |
1450mm |
1210mm |
1630mm |
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